Descrizione
Le lezioni presentate in questo volume raccolgono organicamente il materiale didattico svolto durante il corso di Microelettronica tenuto presso la Facoltà di Ingegneria dell’Università di Parma (1991-97) e dell’Università di Modena e Reggio Emilia (1998-2001).
Nel quadro dei nuovi schemi didattici universitari, il testo si rivolge soprattutto agli studenti del biennio della Laurea specialistica per i corsi di Laurea in Ingegneria Elettronica. Il libro si apre con una breve introduzione alla microelettronica (cap. 1) ed un rapido richiamo di fisica nei semiconduttori (cap. 2). La parte centrale del testo è dedicata all’esposizione dei concetti base dei processi tecnologici di fabbricazione. Gli argomenti toccati occupano sette (dal cap. 3 al cap. 9) dei dodici capitoli del volume e spaziano dalla preparazione del silicio cristallino di grado elettronico alla connessione del chip verso il mondo esterno. Il cap. 10 introduce le tecnologie ed i dispositivi a semiconduttori composti, con particolare attenzione ai dispositivi al SiGe mentre il cap. 11 fornisce alcuni rapidi cenni relativi alla progettazione dei circuiti integrati. Infine il libro si conclude (cap. 12) con la descrizione di alcuni esempi schematici di processo di fabbricazione di transistori.
F. Fantini è Professore Ordinario e M. Borgarino è Ricercatore presso la Facoltà di Ingegneria di Modena e Reggio Emilia.
